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晶圓加熱盤在半導體制程過程中的作用
晶圓加熱盤在半導體制程過程中的作用

晶圓加熱盤在半導體制程過程中確實非常重要,主要體現(xiàn)在以下幾個方面:1.確保工藝穩(wěn)定性:在半導體制造的諸多工藝環(huán)節(jié)中,如光刻、化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等,都需要將晶圓加熱到特定的溫度。加熱盤能夠提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保這些工藝在合適的溫度條件下進行,從而保證工藝的穩(wěn)定性和重復性。2.提高產(chǎn)品良率:精確的溫度控制對于半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率有著直接的影響。如果溫...

2025-01-16
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  • 果果儀器助力中國海洋大學定制光學冷熱臺

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫熱臺、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為中國海洋大學定制光學冷熱臺。光學冷熱臺是一款針對研究樣品變溫光學性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品,可表征樣品光學性能隨溫度變化的特征。產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式,實現(xiàn)-190~600℃(選型)范圍內(nèi)精準控制,與其他光學設(shè)備(如顯微鏡、拉曼光譜等)搭配集成,進行變...

    20239-27
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  • 復旦大學光學真空熱臺顯微拉曼成像測試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫熱臺、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為復旦大學定制光學真空熱臺。該產(chǎn)品是一款針對研究樣品變溫光學性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品,可表征樣品光學性能隨溫度變化的特征。產(chǎn)品采用電阻加熱的方式,實現(xiàn)RT~600℃(選型)范圍內(nèi)精準控制,與顯微鏡和拉曼光譜等光學設(shè)備搭配集成,進行變溫原位測試。根據(jù)定制需求,腔室...

    20239-13
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  • 軟包電池XRD原位充放電測試

    原位XRD表征作為一種XRD的衍生測試手段,能夠滿足非原位XRD對晶材料物相分析;而且還能夠?qū)崿F(xiàn)對晶態(tài)材料、二次電池元器件進行原位高低溫、充放電特殊氣氛等條件下的晶體結(jié)構(gòu)測試及分析。鯉離子電池電極材料的性能主要取決于其組成及結(jié)構(gòu)。系統(tǒng)研究材料的組成結(jié)構(gòu)及性能間的構(gòu)效關(guān)系,探索材料在充放電過程中的結(jié)構(gòu)演化、離子及電荷轉(zhuǎn)移,對深入了解電極材料的儲鉀機制,優(yōu)化材料化學組成、晶體結(jié)構(gòu)及形貌有一分重要的意義。測試原理基于布拉格定律(Bragg’sLaw),原位X射線衍射(X-raydi...

    20239-8
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  • 介電溫譜測試主要分為以下幾個步驟

    介電溫譜測試是一種用于研究材料在不同溫度下的介電性能的變化的實驗方法。該測試可以提供材料在不同溫度下的介電常數(shù)和損耗角正切值等參數(shù),有助于了解材料的電學性能和溫度特性,對于材料性能的控制和優(yōu)化具有重要的指導意義。介電溫譜測試主要分為以下幾個步驟:1、樣品準備:選擇具有代表性的樣品,并按照測試要求制備成標準的測試樣品。2、測試環(huán)境的準備:確保測試環(huán)境溫度和濕度等參數(shù)符合測試要求,以確保測試結(jié)果的準確性。3、測試設(shè)備的校準:在使用測試設(shè)備之前,需要對其進行校準,以確保測試結(jié)果的準...

    20239-7
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  • 果果儀器助力國儀量子SEM掃描電鏡現(xiàn)場測試

    國儀量子SEM掃描電鏡現(xiàn)場測試掃描電鏡是一種用于高分辨率微區(qū)形貌分析的大型精密儀器。具有景深大、分辨率高,成像直觀、立體感強、放大倍數(shù)范圍寬以及待測樣品可在三維空間內(nèi)進行旋轉(zhuǎn)和傾斜等特點。另外具有可測樣品種類豐富,幾乎不損傷和污染原始樣品以及可同時獲得形貌、結(jié)構(gòu)、成分和結(jié)晶學信息等優(yōu)點。目前,掃描電鏡已被廣泛應用于生命科學、物理學、化學、司法、地球科學、材料學以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究。國儀量子的鎢燈絲掃描電鏡(SEM3200)是一款高性能、應用廣泛的通用型鎢燈絲掃描電子顯...

    20238-25
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  • 佛山市卓膜科技定制探針冷熱臺

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫熱臺、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。按照客戶需求,果果儀器為佛山市卓膜科技有限公司定制探針冷熱臺。探針冷熱臺是一款針對研究樣品變溫電學性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品,可表征樣品電學性能隨溫度變化的特征。該產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式,實現(xiàn)-190~600℃(選型)或RT~1000℃(選型)范圍內(nèi)精準控制,與其他電學儀表(...

    20238-15
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  • 探索充放電測試的重要性與應用

    充放電測試是一種常見且重要的測試方法,廣泛應用于電池、儲能系統(tǒng)、電動車、太陽能電池板等領(lǐng)域。它可以評估設(shè)備的性能和可靠性,指導產(chǎn)品設(shè)計和優(yōu)化,提高能源利用效率,促進可持續(xù)發(fā)展。因此,對于相關(guān)行業(yè)和研究機構(gòu)來說,該測試是不可少的重要工具和方法。本文將探討充放電測試的重要性以及其在各個領(lǐng)域中的應用。1、對于評估和驗證電池性能至關(guān)重要。通過對電池進行充放電循環(huán),可以了解其容量、效率、壽命和功率輸出等關(guān)鍵參數(shù)。這有助于確定電池在實際使用過程中的性能表現(xiàn),并為電池設(shè)計和優(yōu)化提供依據(jù)。2...

    20238-8
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  • 拉伸試驗機冷熱臺的使用步驟

    拉伸試驗機冷熱臺是一種用于在不同溫度條件下進行材料拉伸試驗的設(shè)備。它可以模擬材料在低溫或高溫環(huán)境下的性能表現(xiàn),對材料的力學性能和熱學性能進行評估。以下是拉伸試驗機冷熱臺的使用步驟的詳細說明:1、準備工作:a.確保冷熱臺的電源連接正常,并接通電源。b.檢查冷熱臺的溫度控制系統(tǒng)和傳感器是否正常工作。c.確保冷熱臺的工作區(qū)域干凈整潔,沒有雜物阻礙操作。2、設(shè)置溫度參數(shù):a.打開冷熱臺的控制面板,進入溫度設(shè)定界面。b.根據(jù)試驗要求,設(shè)置所需的冷卻溫度或加熱溫度。可以通過按鈕或旋鈕進行...

    20237-7
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  • 光學冷熱臺的原理及應用

    光學冷熱臺是一種高精度的實驗儀器,可以將樣品表面或點降溫到極低溫度,可用于各種材料性質(zhì)研究、物理化學實驗等領(lǐng)域。它提供了對材料和物質(zhì)進行精確溫度控制的手段,使得研究者可以深入研究其性質(zhì)和行為。本文將介紹該設(shè)備的原理、應用及其在科學研究中的重要性。一、原理采用激光作為加熱與冷卻的源頭,利用激光與物質(zhì)相互作用產(chǎn)生的效應來改變樣品的溫度。在高功率激光束的作用下,樣品表面會出現(xiàn)局部加熱,而當激光束離開時,樣品表面會迅速冷卻。通過調(diào)節(jié)激光的功率密度、時間和掃描范圍等參數(shù),可以實現(xiàn)對樣品...

    20236-8
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  • 果果儀器交付上海交通大學變溫拉曼測試定制案例

    果果儀器_光學冷熱臺案例——上海交通大學_變溫拉曼測試定制拉曼光譜,是一種分子光譜學,通過非彈性的散射光(通常稱為拉曼散射)觀測,以便檢測和識別分子的震動(聲子)狀態(tài),因此拉曼光譜可以對分子進行識別,也可以對分子鍵結(jié)構(gòu)的變化進行監(jiān)控(比如物質(zhì)組成、狀態(tài)變化和應力應變、晶形和結(jié)晶度)。拉曼光譜的特點為相比于其他震動光譜方法比如FTIR(傅里葉變換紅外光譜)和NIR(近紅外光譜)有其顯著優(yōu)勢,這些優(yōu)勢的來源是拉曼效應表現(xiàn)在樣品散射的光而不是樣品吸收的光。因此拉曼光譜幾乎不用花太多...

    20233-29
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