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晶圓加熱盤(pán)在半導(dǎo)體制程過(guò)程中的作用
晶圓加熱盤(pán)在半導(dǎo)體制程過(guò)程中的作用

晶圓加熱盤(pán)在半導(dǎo)體制程過(guò)程中確實(shí)非常重要,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.確保工藝穩(wěn)定性:在半導(dǎo)體制造的諸多工藝環(huán)節(jié)中,如光刻、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等,都需要將晶圓加熱到特定的溫度。加熱盤(pán)能夠提供穩(wěn)定的溫場(chǎng)環(huán)境及精密的盤(pán)面均勻溫度,確保這些工藝在合適的溫度條件下進(jìn)行,從而保證工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性。2.提高產(chǎn)品良率:精確的溫度控制對(duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率有著直接的影響。如果溫...

2025-01-16
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  • 定制外置四探針冷熱臺(tái)進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。近期根據(jù)客戶需求,果果儀器為中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)定制外置四探針冷熱臺(tái),進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。果果儀器外置四探針冷熱臺(tái)是一款針對(duì)材料研究過(guò)程中變溫電學(xué)測(cè)試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,可表征材料升溫和降溫階段,其電學(xué)性能隨溫度變化的特征。外置四探針冷熱臺(tái)通過(guò)調(diào)節(jié)外部探針臂,移動(dòng)內(nèi)部探針位置,進(jìn)行高精度的XYZ...

    20241-10
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  • 顯微鏡冷熱臺(tái)如何進(jìn)行溫度控制?

    顯微鏡冷熱臺(tái)是進(jìn)行生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、材料科學(xué)等領(lǐng)域研究的重要設(shè)備之一,其溫度控制技術(shù)對(duì)于實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性具有至關(guān)重要的作用。本文將詳細(xì)介紹顯微鏡冷熱臺(tái)如何進(jìn)行溫度控制。一、溫度控制原理主要依賴于精密的溫控系統(tǒng),該系統(tǒng)一般由溫度傳感器、加熱器、散熱器、控制器等組成。溫度傳感器用于監(jiān)測(cè)溫度變化,并將信號(hào)傳遞給控制器;加熱器用于提供熱量,提高溫度;散熱器用于帶走多余熱量,維持溫度穩(wěn)定;控制器則根據(jù)預(yù)設(shè)的溫度值和實(shí)際溫度值之間的差異,調(diào)節(jié)加熱器的功率,以實(shí)現(xiàn)溫度的精確控制。二、溫...

    20241-5
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  • 定制XRD原位熱臺(tái)適配X射線衍射儀進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。近日根據(jù)客戶需求,果果儀器為浙江大學(xué)溫州研究院定制XRD原位熱臺(tái),適配X射線衍射儀進(jìn)行現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試。該定制XRD熱臺(tái)是一款X射線衍射儀的變溫測(cè)試附件,可實(shí)現(xiàn)樣品變溫測(cè)試,支持在空氣/惰性氣體/真空的環(huán)境條件下測(cè)試。果果儀器XRD原位熱臺(tái)適合于粉末、片材樣品在變溫下進(jìn)行X射線結(jié)構(gòu)研究,...

    202312-26
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  • 果果儀器定制光學(xué)熱臺(tái)進(jìn)行晶體樣品測(cè)試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為安徽大學(xué)定制光學(xué)熱臺(tái),現(xiàn)場(chǎng)用于晶體樣品的測(cè)試。該定制光學(xué)熱臺(tái)是一款針對(duì)研究樣品變溫光學(xué)性能測(cè)試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,可表征樣品光學(xué)性能隨溫度變化的特征。產(chǎn)品采用電阻加熱的方式,實(shí)現(xiàn)RT~400℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制,與其他光學(xué)設(shè)備(如顯微鏡、拉曼光譜等)搭配集成,進(jìn)行變...

    202312-20
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  • 定制探針熱臺(tái)進(jìn)行cp-d現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為衢州職業(yè)技術(shù)學(xué)院定制探針熱臺(tái)。探針熱臺(tái)是一款針對(duì)研究樣品變溫電學(xué)性能測(cè)試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,可表征樣品電學(xué)性能隨溫度變化的特征。該定制產(chǎn)品采用電阻加熱的方式,實(shí)現(xiàn)RT~500℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制,與其他電學(xué)儀表(如電橋、源表、萬(wàn)用表等)搭配集成,進(jìn)行變溫原位測(cè)試。探...

    202312-13
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  • 超高溫?zé)崤_(tái)的操作使用

    超高溫?zé)崤_(tái)是一種廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、物理、化學(xué)等領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)設(shè)備,其操作使用對(duì)于實(shí)驗(yàn)結(jié)果的準(zhǔn)確性和可靠性具有重要意義。以下是對(duì)設(shè)備操作使用的詳細(xì)介紹。一、設(shè)備準(zhǔn)備檢查電源連接:在使用之前,首先檢查電源連接是否正常,確保電源插座和電源線無(wú)損壞,電源電壓在規(guī)定范圍內(nèi)。檢查水路連接:需要水冷系統(tǒng)進(jìn)行冷卻,檢查水路連接是否緊密,確保水源充足且無(wú)泄漏。檢查氣路連接:需要使用氣體進(jìn)行加熱,檢查氣路連接是否正常,確保氣體供應(yīng)穩(wěn)定且無(wú)泄漏。檢查溫度傳感器:它的溫度傳感器是關(guān)鍵部件,檢查傳感器是...

    202312-6
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  • 果果儀器電暈極化裝置現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。電暈極化是因?yàn)椴黄交膶?dǎo)體產(chǎn)生極不均勻電場(chǎng),在不均勻的電場(chǎng)周圍曲率半徑小的電極附近當(dāng)電壓升高到一定值時(shí),由于空氣游離就會(huì)發(fā)生放電,形成電暈。因?yàn)樵陔姇灥耐鈬妶?chǎng)很弱,不發(fā)生碰撞游離,電暈外圍帶電粒子基本都是電離子,這些離子便形成了電暈放電電流。簡(jiǎn)單地說(shuō),曲率半徑小的導(dǎo)體電極對(duì)空氣...

    202311-22
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  • 定制拉伸機(jī)冷熱臺(tái)進(jìn)行拉伸性能試驗(yàn)

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。隨著微電子、生物醫(yī)學(xué)和許多其他領(lǐng)域?qū)Ξa(chǎn)品小型化的需求日益增加,受限于尺寸效應(yīng)對(duì)力學(xué)性能的影響,如何制造優(yōu)秀機(jī)械性能的微型零部件引起了學(xué)術(shù)界和工業(yè)界的廣泛關(guān)注,對(duì)于應(yīng)用前景很廣的銅合金帶材來(lái)說(shuō),需要保證其微尺度構(gòu)件也具備優(yōu)異的綜合力學(xué)性能。同時(shí)結(jié)合國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀分析,降低層錯(cuò)能,降...

    202311-15
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  • 介電溫譜測(cè)試的應(yīng)用范圍與重要性

    介電溫譜測(cè)試是一種用于研究材料電學(xué)性能的重要工具,廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)以及工程學(xué)等領(lǐng)域。測(cè)試能夠提供材料在不同溫度和頻率下的介電性能信息,對(duì)于材料的研發(fā)、優(yōu)化和生產(chǎn)具有重要意義。一、應(yīng)用范圍:材料研發(fā):在材料研發(fā)過(guò)程中,可以用于研究材料的介電性質(zhì)和電學(xué)性能隨溫度和頻率的變化規(guī)律。通過(guò)這些數(shù)據(jù),研究人員可以評(píng)估材料的穩(wěn)定性、可靠性和性能表現(xiàn),為新材料的研發(fā)提供指導(dǎo)?;瘜W(xué)工業(yè):在化學(xué)工業(yè)中,可用于研究化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中的電學(xué)行為和介電性質(zhì)變化。例如,在催化劑的研發(fā)中,測(cè)試...

    202311-6
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  • 西安交通大學(xué)定制原位拉伸臺(tái)

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為西安交通大學(xué)定制原位拉伸臺(tái)。產(chǎn)品可定制各種類型夾具,該原位拉伸臺(tái)定制與安東帕SAXS適配結(jié)構(gòu),包含支架,法蘭結(jié)構(gòu)等;定制與賽默飛IS50適配的XY手動(dòng)位移臺(tái)??膳c顯微分析、電學(xué)分析相結(jié)合,可以分析材料在測(cè)試過(guò)程中相變、裂紋萌生和擴(kuò)展、斷裂、彎曲、高溫蠕變等...

    202310-18
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  • SEM原位冷熱臺(tái)能夠在觀察樣品的同時(shí)進(jìn)行原位的熱學(xué)和力學(xué)性能測(cè)試

    SEM原位冷熱臺(tái)是一種在掃描電子顯微鏡(SEM)中使用的先進(jìn)設(shè)備,它能夠在觀察樣品的同時(shí)進(jìn)行原位的熱學(xué)和力學(xué)性能測(cè)試,從而提供了一種高度集成的實(shí)驗(yàn)方法。基本原理是利用高精度的溫控器對(duì)樣品進(jìn)行加熱或冷卻,同時(shí)利用SEM對(duì)樣品的形貌、相變、尺寸等微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察和測(cè)量。這種設(shè)備的出現(xiàn),使得材料科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)以及生物學(xué)等領(lǐng)域的研究人員能夠更深入地研究材料的各種性質(zhì),以及在不同溫度和環(huán)境下的變化情況。主要優(yōu)點(diǎn)是它的原位觀察能力。在進(jìn)行熱學(xué)和力學(xué)性能測(cè)試時(shí),傳統(tǒng)的方法需要將樣品...

    202310-11
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  • 果果儀器助力中科院重慶研究所定制光學(xué)冷熱臺(tái)

    果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺(tái)、光學(xué)冷熱臺(tái)、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺(tái)、超高溫?zé)崤_(tái)、高低溫試驗(yàn)箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測(cè)試、變溫D33等測(cè)試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為中科院重慶研究所定制光學(xué)冷熱臺(tái),投用于公共實(shí)驗(yàn)室。光學(xué)冷熱臺(tái)是一款針對(duì)研究樣品變溫光學(xué)性能測(cè)試而設(shè)計(jì)的產(chǎn)品,可表征樣品光學(xué)性能隨溫度變化的特征。產(chǎn)品采用液氮致冷、電阻加熱的方式,實(shí)現(xiàn)-190~600℃(選型)范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制,與其他光學(xué)設(shè)備(如顯微鏡、拉曼光...

    202310-10
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