技術(shù)文章
當(dāng)前位置:首頁 > 技術(shù)文章
晶圓加熱盤在半導(dǎo)體制程過程中確實非常重要,主要體現(xiàn)在以下幾個方面:1.確保工藝穩(wěn)定性:在半導(dǎo)體制造的諸多工藝環(huán)節(jié)中,如光刻、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)等,都需要將晶圓加熱到特定的溫度。加熱盤能夠提供穩(wěn)定的溫場環(huán)境及精密的盤面均勻溫度,確保這些工藝在合適的溫度條件下進(jìn)行,從而保證工藝的穩(wěn)定性和重復(fù)性。2.提高產(chǎn)品良率:精確的溫度控制對于半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和良率有著直接的影響。如果溫...
2025-01-16電化學(xué)電池的能量密度是衡量其性能的一個關(guān)鍵參數(shù),通常是指單位質(zhì)量或單位體積的電池所能存儲的能量量。提高電池的能量密度是科學(xué)家和工程師們長期以來追求的目標(biāo),因為這直接關(guān)系到便攜式電子設(shè)備(如智能手機、筆記本電腦和電動汽車)的續(xù)航能力和小型化。以下是一些提高電化學(xué)電池能量密度的方法:一、優(yōu)化電極材料1.高容量電極材料:研究和使用具有更高電化學(xué)容量的材料,比如鋰金屬、硅基材料、石墨烯等,可以顯著提升電池的能量密度。2.納米技術(shù):利用納米尺度的電極材料可以改善材料的表面積,從而提高電...
晶圓加熱盤作為半導(dǎo)體制造過程中的重要設(shè)備,其正確操作對于保證晶圓制造質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率以及保障設(shè)備安全具有至關(guān)重要的作用。本文將詳細(xì)闡述它的正確操作方法,旨在幫助操作人員更好地掌握其使用技巧,確保生產(chǎn)過程的順利進(jìn)行。在操作晶圓加熱盤之前,操作人員應(yīng)充分了解設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)、工作原理以及性能特點。同時,應(yīng)熟悉設(shè)備的安全操作規(guī)程,確保在使用過程中嚴(yán)格遵守相關(guān)規(guī)定,防止發(fā)生安全事故。具體操作步驟如下:一、開機準(zhǔn)備檢查晶圓加熱盤的電源、氣源、水源等是否連接正常,確保設(shè)備處于良好的工作狀...
磁吸式探針是一種采用磁力吸附方式的充電或連接工具,其核心特點在于使用磁力實現(xiàn)快速、方便、可靠的連接和斷開。這種設(shè)計在許多不同行業(yè),如電子產(chǎn)品制造業(yè)、汽車制造業(yè)、醫(yī)療器械、航天航空、家用電器以及家居電子等領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。在充電方面,磁吸式探針通過在底部設(shè)置磁鐵,使得它可以通過磁性作用輕松吸附在手機或其他設(shè)備上,完成充電過程。這種充電方式不僅方便,而且操作簡單,無需進(jìn)行多余的接線。然而,需要注意的是,由于吸附力可能較弱,當(dāng)設(shè)備處于顫動或移動狀態(tài)時,充電器容易斷開,從而影響充電...
原位冷熱臺是一種關(guān)鍵的工業(yè)設(shè)備,其在工業(yè)應(yīng)用中扮演著重要的角色。通過準(zhǔn)確控制溫度,它能夠?qū)Σ牧线M(jìn)行可靠的測試、研究和生產(chǎn),為工業(yè)領(lǐng)域帶來了許多重要的優(yōu)勢和機遇。本文將探討原位冷熱臺在工業(yè)應(yīng)用中的關(guān)鍵作用。1.實驗環(huán)境模擬能夠模擬各種溫度環(huán)境,從惡劣低溫到高溫,甚至動態(tài)溫度變化,為工業(yè)實驗提供了可靠的環(huán)境條件。通過在不同溫度下對材料進(jìn)行測試和觀察,研究人員可以了解材料在不同條件下的性能和行為,為產(chǎn)品設(shè)計、材料選型和工藝優(yōu)化提供重要參考。2.材料性能測試在材料研發(fā)和生產(chǎn)過程中,了...
果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學(xué)冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫?zé)崤_、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。X射線衍射儀技術(shù)(X-raydiffraction,XRD),通過對材料進(jìn)行X射線衍射,分析其衍射圖譜,獲得材料的成分、材料內(nèi)部原子或分子的結(jié)構(gòu)或形態(tài)等信息的研究手段。X射線衍射分析法是研究物質(zhì)的物相和晶體結(jié)構(gòu)的主要方法。當(dāng)某物質(zhì)(晶體或非晶體)進(jìn)行衍射分析時,該物質(zhì)被X射線照射...
在科學(xué)研究和實驗過程中,溫度控制是至關(guān)重要的一環(huán)。不同的實驗需要不同的溫度條件來確保準(zhǔn)確性和可重復(fù)性。近年來,光學(xué)冷熱臺技術(shù)的發(fā)展為實驗室溫度控制帶來了創(chuàng)新。光學(xué)冷熱臺利用了先進(jìn)的光學(xué)原理和技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)對樣品的準(zhǔn)確冷卻或加熱,同時不會對樣品產(chǎn)生任何熱量或干擾。這種技術(shù)的出現(xiàn),使得實驗室在進(jìn)行各種實驗時能夠更加靈活地控制溫度,提高了實驗的成功率和數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性。首先,具有高度的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。傳統(tǒng)的溫度控制設(shè)備可能存在溫度波動或不均勻性的問題,它則能夠?qū)崿F(xiàn)溫度的準(zhǔn)確控制,保持穩(wěn)...
原位拉伸臺是一種用于在拉伸試驗中實時監(jiān)測材料性能的專用設(shè)備。它通常由拉伸機構(gòu)、加載傳感器、數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)等組成,可以模擬材料在真實工作環(huán)境中的受力情況,實現(xiàn)對材料性能的準(zhǔn)確測試。本文將探討該設(shè)備對材料性能測試的影響與優(yōu)勢。一、影響1、實時監(jiān)測能夠?qū)崟r監(jiān)測材料在拉伸過程中的應(yīng)力、應(yīng)變、變形等參數(shù)變化,為研究人員提供了豐富的數(shù)據(jù)信息。這些數(shù)據(jù)對于了解材料的力學(xué)行為、斷裂機理等具有重要意義。2、準(zhǔn)確控制通過原位拉伸臺,可以對拉伸速度、加載方式等參數(shù)進(jìn)行準(zhǔn)確控制,從而模擬出不同條件下的...
果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學(xué)冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫?zé)崤_、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。拉曼光譜(Ramanspectra),是一種散射光譜。拉曼光譜分析法是基于印度科學(xué)家C.V.拉曼(Raman)所發(fā)現(xiàn)的拉曼散射效應(yīng),對與入射光頻率不同的散射光譜進(jìn)行分析以得到分子振動、轉(zhuǎn)動方面信息,并應(yīng)用于分子結(jié)構(gòu)研究的一種分析方法。當(dāng)用波長比試樣粒徑小得多的單色光照射氣體、液體...
晶圓加熱盤也稱晶圓卡盤,在晶圓加工應(yīng)用中可處理或固定晶圓或基板。它們是潔凈室工廠環(huán)境中晶圓制造和測試的關(guān)鍵組成部分。晶圓和基板處理步驟可包括薄拋光或化學(xué)機械平面化、薄膜沉積(PVD、CVD或電沉積)、拋光、蝕刻、圖案化或光刻、光刻膠旋涂、離子注入、擴散和電介質(zhì)薄膜生長的氧化。晶圓卡盤也是制造過程中各種基板測試、計量和分析步驟的關(guān)鍵產(chǎn)品,例如光譜法或成分分析、平面度或彎曲度測量、表面粗糙度和波紋度計量、自動缺陷檢測、熱應(yīng)力或熱循環(huán)測試和故障分析。晶圓和基板非常薄,因此像在傳統(tǒng)卡...
一、液氮溫箱的基本原理液氮溫箱是一種利用液氮作為冷卻介質(zhì),實現(xiàn)低溫環(huán)境的實驗設(shè)備。液氮是氮氣在高壓和低溫下液化的產(chǎn)物。通過將液氮注入特制的真空絕熱容器中,利用液氮的低溫特性,為樣品或?qū)嶒灜h(huán)境提供穩(wěn)定的超低溫條件。核心部件包括液氮容器、溫控系統(tǒng)、樣品室和安全閥等。液氮容器通常采用雙層結(jié)構(gòu),內(nèi)層用于存儲液氮,外層則抽成真空以減少熱量交換。溫控系統(tǒng)負(fù)責(zé)監(jiān)測和調(diào)節(jié)樣品室的溫度,確保實驗所需的恒溫條件。樣品室則是放置實驗樣品的空間,其設(shè)計需保證在超低溫環(huán)境下仍能進(jìn)行精確的操作和觀察。安...
果果儀器科技(上海)有限公司專精于溫控技術(shù),擁有探針冷熱臺、光學(xué)冷熱臺、原位拉伸、原位XRD/SEM冷熱臺、超高溫?zé)崤_、高低溫試驗箱等多款技術(shù)產(chǎn)品,及介電溫譜、電卡、充放電測試、變溫D33等測試系統(tǒng)。根據(jù)客戶需求,果果儀器為杭州電子科技大學(xué)定制電學(xué)冷熱臺,對樣品硅片進(jìn)行現(xiàn)場控溫測試。該定制電學(xué)冷熱臺是一款針對研究樣品變溫電學(xué)性能測試而設(shè)計的產(chǎn)品,可表征樣品電學(xué)性能隨溫度變化的特征。該定制產(chǎn)品采用電阻加熱,液氮致冷的方式,實現(xiàn)-190~400℃范圍內(nèi)精準(zhǔn)控制,與其他電學(xué)儀表(如...
sem冷熱臺是掃描電子顯微鏡的一個重要附件,它允許用戶在不同的溫度下觀察和分析樣品。這種技術(shù)特別適用于研究材料的熱性能、相變以及其他與溫度相關(guān)的特征。為了確保獲得準(zhǔn)確和可靠的結(jié)果,正確使用設(shè)備至關(guān)重要。以下是正確使用sem冷熱臺的一些建議和步驟:1、確保設(shè)備已經(jīng)正確安裝并與SEM連接。檢查所有電纜和接口是否牢固連接,確保電源供應(yīng)正常。這就像在建造房屋之前確保地基穩(wěn)固一樣重要。2、在進(jìn)行任何操作之前,仔細(xì)閱讀并理解設(shè)備的操作手冊。這本手冊包含了設(shè)備的所有規(guī)格、功能和操作指南,是...